透射電鏡液體升溫原位系統

    簡(jiǎn)要描述:透射電鏡液體升溫原位系統采用MEMS微加工工藝在原位樣品臺內構建液氛納米實(shí)驗室,通過(guò)MEMS芯片加熱,結合使用EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多種不同模式,實(shí)現從納米甚至原子層面實(shí)時(shí)、動(dòng)態(tài)監測樣品在液氛環(huán)境中隨溫度變化產(chǎn)生的微觀(guān)結構演化、反應動(dòng)力學(xué)、相變、元素價(jià)態(tài)、化學(xué)變化、微觀(guān)應力以及表/界面處的原子級結構和成分演化等關(guān)鍵信息。

    • 產(chǎn)品型號:
    • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
    • 更新時(shí)間:2023-12-27
    • 訪(fǎng)  問(wèn)  量: 3534

    詳細介紹

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    我們的優(yōu)勢

    業(yè)界最高分辨率

    1.MEMS加工工藝,芯片視窗區域的氮化硅膜厚度最薄可達10 nm。

    2.芯片封裝采用鍵合內封以及環(huán)氧樹(shù)脂外封雙保險方式,使芯片間的夾層最薄僅約100~200nm,超薄夾層大幅減少對電子束的干擾,可清晰觀(guān)察樣品的原子排列情況,液相環(huán)境可實(shí)現原子級分辨。

    3.經(jīng)過(guò)特殊設計的芯片視窗形狀,可避免氮化硅膜鼓起導致液層增厚而影響分辨率。


    高安全性

    1.市面常見(jiàn)的其他品牌液體樣品桿,由于受自身液體池芯片設計方案制約,只能通過(guò)液體泵產(chǎn)生的巨大壓力推動(dòng)大流量液體流經(jīng)樣品臺及芯片外圍區域,有液體大量泄露的安全隱患。其液體主要靠擴散效應進(jìn)入芯片中間的納米孔道,芯片觀(guān)察窗里并無(wú)真實(shí)流量流速控制。

    2.采用納流控zhuanli技術(shù),通過(guò)壓電微控系統進(jìn)行流體微分控制,實(shí)現納升級微量流體輸送,原位納流控系統及樣品桿中冗余的液體量?jì)H有微升級別,有效保證電鏡安全。

    3.采用高分子膜面接觸密封技術(shù),相比于o圈密封,增大了密封接觸面積,有效減小滲漏風(fēng)險。

    4.采用超高溫鍍膜技術(shù),芯片視窗區域的氮化硅膜具有耐高溫低應力耐壓耐腐蝕耐輻照等優(yōu)點(diǎn)。


    多場(chǎng)耦合技術(shù)

    可在液相環(huán)境中實(shí)現光、電、熱、流體多場(chǎng)耦合。


    優(yōu)異的熱學(xué)性能

    1.高精密紅外測溫校正,微米級高分辨熱場(chǎng)測量及校準,確保溫度的準確性。

    2.超高頻控溫方式,排除導線(xiàn)和接觸電阻的影響,測量溫度和電學(xué)參數更精確。

    3.采用高穩定性貴金屬加熱絲(非陶瓷材料),既是熱導材料又是熱敏材料,其電阻與溫度有良好的線(xiàn)性關(guān)系,加熱區覆蓋整個(gè)觀(guān)測區域,升溫降溫速度快,熱場(chǎng)穩定且均勻,穩定狀態(tài)下溫度波動(dòng)≤±0.1℃。

    4.采用閉合回路高頻動(dòng)態(tài)控制和反饋環(huán)境溫度的控溫方式,高頻反饋控制消除誤差,控溫精度±0.01℃。

    5.dute多級復合加熱MEMS芯片設計,控制加熱過(guò)程熱擴散,極大抑制升溫過(guò)程的熱漂移,確保實(shí)驗的高效觀(guān)察。


    智能化軟件和自動(dòng)化設備

    1.人機分離,軟件遠程控制實(shí)驗條件,全程自動(dòng)記錄實(shí)驗細節數據,便于總結與回顧。

    2.自定義程序升溫曲線(xiàn)??啥x10步以上升溫程序、恒溫時(shí)間等,同時(shí)可手動(dòng)控制目標溫度及時(shí)間,在程序升溫過(guò)程中發(fā)現需要變溫及恒溫,可即時(shí)調整實(shí)驗方案,提升實(shí)驗效率。

    3.內置絕對溫標校準程序,每塊芯片每次控溫都能根據電阻值變化,重新進(jìn)行曲線(xiàn)擬合和校正,確保測量溫度精確性,保證加熱實(shí)驗的重現性及可靠性。

    4.全流程配備精密自動(dòng)化設備,協(xié)助人工操作,提高實(shí)驗效率。


    團隊優(yōu)勢

    1.團隊帶頭人在原位液相TEM發(fā)展初期即參與研發(fā)并完善該方法。

    2.獨立設計原位芯片,掌握芯片核心工藝,擁有多項芯片zhuanli。

    3.團隊20余人從事原位液相TEM研究,可提供多個(gè)研究方向的原位實(shí)驗技



    技術(shù)參數

    類(lèi)別項目參數
    基本參數桿體材質(zhì)高強度鈦合金
    視窗膜厚標配20nm(可升級10nm)
    傾轉角α=±20°(實(shí)際范圍取決于透射電鏡和極靴型號)
    液層厚度100~200 nm(自行組裝確定厚度)
    適用電鏡Thermo Fisher/FEI, JEOL, Hitachi
    適用極靴ST, XT, T, BioT, HRP, HTP, CRP
    (HR)TEM/STEM支持
    (HR)EDS/EELS/SAED支持





















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